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STM7顯微鏡具有優(yōu)良的多用途性，能夠以亞微米精度實(shí)現(xiàn)對零部件和電氣組件的高性能三軸測量。無論待測樣品是大的還是小的，測量內(nèi)容是簡單的還是復(fù)雜的，測量人員是新手還是專家，奧林巴斯STM7系列就是能滿足您需求、為您量身打造的測量顯微鏡產(chǎn)品。

STM7 通過整合光學(xué)顯微鏡和*的測量能力實(shí)現(xiàn)精確測量

多年的顯微鏡開發(fā)經(jīng)驗(yàn)成就了優(yōu)異的觀察性能

STM7系列采用了當(dāng)前**光學(xué)顯微鏡中所使用的UIS2無限遠(yuǎn)校正光學(xué)系統(tǒng)。因此，觀察到的圖像具有高分辨率和高對比度，此外，像差也被完全消除，以確保實(shí)現(xiàn)對微小細(xì)節(jié)的高精度測量。

奧林巴斯顯微鏡

明場圖像暗場圖像微分干涉圖像偏光圖像

花崗巖精雕細(xì)琢而成的載物臺基座增強(qiáng)了測量的可靠性

為了進(jìn)一步保證測量精度，STM7系列采用了一個配備花崗巖基座的高度耐用和防振動的鏡架。由于花崗巖的高穩(wěn)定性，使測量可到達(dá)亞微米水平，同時確保*大程度地降低誤差。

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STM7-LF FEM 分析

作為高度測量的先鋒，繼續(xù)提供簡單易操作的高精度3軸測量

隨著現(xiàn)代制造技術(shù)日益小型化和精密化，高精度測量也日趨重要——不僅是XY軸平面的測量，而且Z軸方向的高精度測量也成為必須。奧林巴斯成為*成功開發(fā)了測量顯微鏡用采用主動反射、共聚焦方法的自動聚焦系統(tǒng)的公司，以此響應(yīng)了這種與日俱增的需求。

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主動反射，共聚焦自動聚焦系統(tǒng)光路

嚴(yán)格的可追溯系統(tǒng)確保品質(zhì)可靠

奧林巴斯通過一個嚴(yán)格的可追溯系統(tǒng)控制測量顯微鏡的精確度。并且在安裝系統(tǒng)時奧林巴斯也提供了可追溯的校準(zhǔn)服務(wù)。

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測量顯微鏡溯源系統(tǒng)

STM7在設(shè)計(jì)上非常重視易用性

提供適合您樣品尺寸的載物臺

常見問題

u短測量行程無法滿足較大樣品的測量需求。

u目前為止，大型載物臺在X軸方向提供了足夠的測量行程，但是Y軸的行程仍然較小。在測量過程中需要通過旋轉(zhuǎn)樣品來補(bǔ)償比X軸覆蓋范圍要短的Y軸行程，這樣的做法費(fèi)事費(fèi)時，效率不高。

u由于可測量的范圍窄，無法將數(shù)量較多的樣品排列在載物臺上，以實(shí)現(xiàn)一次性同時測量。

STM7解決方案

u共有四種**的正方形測量行程的載物臺可供選用(50 mm x 50 mm, 100 mm x 100?mm, 200 mm x 200 mm, 和300 mm x 300 mm)。不管是大的樣品還是小的樣品，總有一款載物臺會適合您要測量的樣品。

u采用離合器系統(tǒng)可以在粗調(diào)和微調(diào)之間實(shí)現(xiàn)快速切換。具備了這種切換功能之后，載物臺也可以沿著X軸和Y軸方向迅速移動，并且可以在XY平面上自由穿梭。

u300 mm長的方形載物臺在X軸和Y軸方向上可以提供相同的測量行程，這意味著可以不旋轉(zhuǎn)樣品就實(shí)現(xiàn)大型樣品的全部測量，比如300 mm的晶圓和印刷電路板。

奧林巴斯顯微鏡

STM7-CS50 STM7-CS100 STM7-CS200 STM7-CS300
50mm x 50mm 100mm x 100mm 200 mm x 200 mm 300 mm x 300 mm

使用相同的顯微鏡進(jìn)行低倍率和高倍率觀察

常見問題

u大部分傳統(tǒng)的測量顯微鏡只可以專用測量物鏡或?qū)Ｓ媒鹣辔镧R，無法同時滿足多種觀察要求

STM7解決方案

uSTM7可以通過安裝一個測量物鏡適配器使用測量物鏡，而更換為物鏡轉(zhuǎn)盤后，便可使用金相物鏡。這意味著， STM7將金相光學(xué)系統(tǒng)和測量光學(xué)系統(tǒng)同時結(jié)合在一臺測量顯微鏡中。通過這種方式，無論是測量大型樣品還是精細(xì)樣品，或是表面高度差異大的樣品，STM7系列都可以對應(yīng)并協(xié)助用戶選擇*佳的觀察方法。

測量物鏡

由于測量物鏡具有非常長的工作距離，因此可以在對表面起伏較大的樣品進(jìn)行聚焦的時候，無需擔(dān)心物鏡與樣品之間發(fā)生接觸。此外，借助測量物鏡的低倍率能力，可以一次觀察到較大的視場。

可以得到和光學(xué)顯微鏡相媲美的高倍率和高分辨率觀察能力。更重要的是，在明場觀察之外還可以對應(yīng)暗場，偏光和微分干涉觀察。

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金相物鏡

奧林巴斯顯微鏡

明場圖像暗場圖像

手動調(diào)焦和電動調(diào)焦兩種鏡架可供選擇

STM7系列包括手動調(diào)焦和電動調(diào)焦兩個系列

聚焦控制提供手動型和電動型兩種可選方案。請根據(jù)樣品和測量內(nèi)容選擇符合您需求的機(jī)型，而不需要考慮載物臺的尺寸。所有的鏡架均內(nèi)置Z軸線性標(biāo)尺，各種型號STM7都可以對應(yīng)3軸測量。

手動Z軸調(diào)焦機(jī)型

奧林巴斯顯微鏡

手動Z軸調(diào)焦機(jī)型提供了***的成本效益——通過操作被廣泛使用的調(diào)焦旋鈕，可以快速的上下移動Z軸。為測量具有各種高度樣品的用戶提供了方便。

電動Z軸調(diào)焦機(jī)型

奧林巴斯顯微鏡

使用電動調(diào)焦裝置可以大幅提高操作性，并減少了進(jìn)行聚焦和高度測量時的操作疲勞。粗微調(diào)焦的同軸旋鈕設(shè)計(jì)使使用者可以以習(xí)慣的類似手動的方式進(jìn)行操作，同時電動機(jī)型還可以配備自動聚焦單元。

一個具有突破性設(shè)計(jì)的控制單元大幅提升了測量顯微鏡的操作性

常見問題

u其他功能需要添置額外的操作單元。操作者無法快速找到相應(yīng)的操作單元，因而顯著降低測量效率。

u眾多操作裝置和電源箱、控制箱散布在主機(jī)的周圍，占用了寶貴的工作空間。

STM7解決方案

操作裝置

u對于STM7系列，只要使用單一的操作裝置能夠執(zhí)行幾乎所有的測量顯微鏡操作，包括重置計(jì)數(shù)器、照明控制、調(diào)焦和自動聚焦等功能。為了提高效率和方便性，您可以將裝置放在任何想要放置的位置，并可以輕松地單手操作。

控制箱

奧林巴斯顯微鏡
用于手動Z軸調(diào)焦機(jī)型：
STM7-HS手動操作裝置

奧林巴斯顯微鏡
用于電動Z軸調(diào)焦機(jī)型：
STM7-MCZ電動操作裝置

各個單元的電源和通信均被集成在一個單一的控制箱中。即使是添加一些可選功能比如聚焦導(dǎo)航功能也不需要增加額外的電源裝置，這樣的設(shè)計(jì)可以*大程度地減少占用工作空間。

大大提高了觀察和測量效率的光源管理器

常見問題

u傳統(tǒng)測量顯微鏡使用的模擬旋鈕調(diào)節(jié)方式不能實(shí)現(xiàn)光強(qiáng)的定量控制。這樣每次測量時的光強(qiáng)無法保持一致，導(dǎo)致測量值也發(fā)生變化。

u使用傳統(tǒng)測量顯微鏡時，每次切換物鏡后都需要調(diào)節(jié)光強(qiáng)，這使得工作流程非常低效。

STM7解決方案

能夠定量掌握光源亮度的數(shù)字式顯示

奧林巴斯顯微鏡

STM7的光強(qiáng)可定量顯示，這樣就能保證始終在相同條件下實(shí)施觀察和測量。

物鏡切換時，無需手動調(diào)節(jié)光強(qiáng)
光強(qiáng)度管理器可以與編碼物鏡轉(zhuǎn)盤配置配套使用。帶編碼物鏡轉(zhuǎn)盤會自動識別目前使用的物鏡，結(jié)合光源管理器的預(yù)設(shè)值功能，可以為每個物鏡注冊照明方式和光強(qiáng)。這樣每當(dāng)切換物鏡后，可以自動調(diào)節(jié)光強(qiáng)和調(diào)整照明方式。象以前每次切換倍率后手動調(diào)節(jié)光強(qiáng)的操作，現(xiàn)在就可以省略了。

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5x物鏡光強(qiáng) 50 20x物鏡光強(qiáng) 70 100x物鏡光強(qiáng) 120

可以放置在任意方便使用地方的可拆卸計(jì)數(shù)器，確保能隨時迅速地檢查測量結(jié)果和設(shè)備狀態(tài)。

常見問題

u需要檢查諸如照明狀態(tài)等設(shè)備運(yùn)行狀以及測量結(jié)果時，因?yàn)槭窃诓煌瑔卧巷@示使操作變得非常繁瑣。

STM7解決方案

能一目了然確認(rèn)當(dāng)前狀態(tài)的計(jì)數(shù)器

計(jì)數(shù)器帶有顯示設(shè)備狀態(tài)和設(shè)置的指示燈，可以簡單的實(shí)現(xiàn)對設(shè)備當(dāng)前設(shè)定狀態(tài)的確認(rèn)。X、Y和Z軸的*小單位可以在0.1 μm和1 μm之間切換，此外，還可以在毫米、微米、英寸和密耳之間切換顯示單位。

可滿足個性化需求自由放置的可拆卸式計(jì)數(shù)器

無論是安裝在鏡架上還是放置在工作臺上，可拆卸式計(jì)數(shù)器都可以根據(jù)用戶的使用狀況和使用習(xí)慣放置在*佳位置。當(dāng)用戶站著進(jìn)行測量時，可以將計(jì)數(shù)器安裝在和觀察位置大致相同高度的鏡架一側(cè)，以方便輕松的觀察和檢查結(jié)果。當(dāng)用戶通過數(shù)碼相機(jī)在顯示器上進(jìn)行觀察和測量，或使用電動Z軸調(diào)焦機(jī)型時，只需將計(jì)數(shù)器和操作裝置放在工作臺上即可輕松地坐在椅子上進(jìn)行作業(yè)。

奧林巴斯顯微鏡
計(jì)數(shù)器安裝在鏡架上

計(jì)數(shù)器放置在工作臺上

自動聚焦系統(tǒng)具有***的重復(fù)性

實(shí)現(xiàn)更快、更簡單、更精確的高度測量

常見問題

u進(jìn)行目視測量時，不同的操作者會測得不同的高度測量值。此外，這種測量方法非常耗時，效率低下。

STM7解決方案

具有**的重復(fù)性、簡單且高度精確的聚焦系統(tǒng)

通過將圖案投影在視場范圍內(nèi)，由操作者確認(rèn)上下圖案的重合情況，奧林巴斯的聚焦導(dǎo)航系統(tǒng)實(shí)現(xiàn)了重復(fù)性高的高度測量操作。普通的目測觀察進(jìn)行高度測量時，即使是看上去非常清晰的已經(jīng)完全合焦的圖像，也會出現(xiàn)微小誤差。而使用STM7的聚焦導(dǎo)航系統(tǒng)，只需匹配標(biāo)記便可進(jìn)行測量，因此減少了操作者的主觀性對測量結(jié)果造成的影響。

目視高度測量
奧林巴斯顯微鏡

聚焦導(dǎo)航系統(tǒng)

奧林巴斯顯微鏡

焦點(diǎn)下方焦點(diǎn)位置焦點(diǎn)上方

自動聚焦的優(yōu)勢成就快速、高精度的高度測量

常見問題

u進(jìn)行目視測量時，不同的操作者得出的高度測量結(jié)果也會不一樣。

u手動高度測量需要操作者反復(fù)進(jìn)行移動載物臺，使用旋鈕調(diào)焦的操作，這使測量既耗時又低效。

u很難對微小的物體聚焦，比如引線。

STM7解決方案

專用自動對焦單元：出色的再現(xiàn)性和聚焦速度

無論操作者的經(jīng)驗(yàn)如何，使用STM7專用自動對焦單元均可以在*短時間內(nèi)實(shí)現(xiàn)高度精確的高度測量。即使是粗糙或傾斜的樣品表面，利用主動反射、共聚焦方法都可以實(shí)現(xiàn)穩(wěn)定對焦，而小直徑的激光，也能保證對微小物體，比如引線的自動對焦。

單次對焦模式

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